離子滲氮是在低真空的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數百伏的直流電壓，使之產生的輝光放電進行滲氮處理的化學熱處理工藝。離子滲氮有多種名稱，如離子氮化、輝光放電氮化、離子轟擊滲氮、等離子體滲氮等。離子滲氮是在低真空含氮氣氛中，利用模具（陰極）和陽極之間產生的輝光放電進行滲氮的工藝，與氣體滲氮相比，有以下優點：1)工作環境好。由于離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。因而，離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。2)滲入速度快。由于離子氮化法利用了離子化了的氣體的濺射作用，因而可顯著地縮短處理時間(離子滲氮的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5)。

能源消耗少。由于離子氮化法利用輝光放電直接對工件進行加熱。也無需特別的加熱和保溫設備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式棚比加熱效率可提高2倍以上，達到節能效果，可大大降低處理成本。

零件變形小，滲氮組織易于控制。通過調節氮、氧及其他（如碳、氧、硫等）氣氛的比例，可自由地凋節化合物層的棚組成，從而獲得預期的機械性能。適應范圍廣泛。可用于不銹鋼模具的滲氮，利用離子的轟擊作用，可以內動去除不銹鋼、耐熱鋼模具表面的鈍化膜，可直接進行不銹鋼模具的滲氮。易于實現局部滲氮。